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PR24L/40L等離子清洗機

編號	內容	規格參數
1	機臺整機規格	PR24L :650(W)×1240(H)×580(D)mm PR40L: 750(W)×550(H)×650(D)mm
2	真空室規格	PR24L :進口鋁 600(W)×600(H)×600(D)mm PR40L:進口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm
3	電極板規格	PR24L，6層平板式電極板（ 240(W)×270(D)mm） PR40L，8平板式電極板（330(W)×315(D)mm）
4	控制系統	觸摸屏+PLC控制
5	真空測定系統	皮拉尼電阻式真空計
6	氣體計量系統	精確質量流量控制計 MFC
7	氣體路數	2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等離子發生器	0-1KW等離子體發生源（40KHz，可選13.56MHz）
9	工作氣體	2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2
特點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持。用途：適用于攝像頭及行業，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。 1、印制線路板行業：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。 2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗； 3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。