PM120L/PM180L等離子處理機_中型等離子處理機_真空等離子清洗機_產品中心

PM120L/PM180L等離子處理機

編號	內容	規格參數
1	機臺整機規格	PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm PM180L: 1400(W)×1720(H)×1050(D)mm
2	真空室規格	550(W)×635(H)×535(D)mm
3	電極板規格	PM120L: 10層平板式電極板（470(W)×410(D)mm）可定制 PM180L: 10層平板式電極板（530(L)×400(W)mm）可定制
4	控制系統	觸摸屏+PLC控制
5	真空測定系統	皮拉尼電阻式真空計
6	氣體計量系統	精確質量流量控制計 MFC
7	氣體路數	2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等離子發生器	500W&1KW等離子體發生源，40KHz（可選13.56MHz）
9	工作氣體	2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2
特點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持。用途：適用于攝像頭及行業，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。 1、攝像頭、指紋識別行業：軟硬結合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔； 2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗； 3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。