PM120L/PM180L等離子處理機
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編號 內容 規格參數
1 機臺整機規格 PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm
PM180L: 1400(W)×1720(H)×1050(D)mm
2 真空室規格 550(W)×635(H)×535(D)mm
3 電極板規格 PM120L: 10層平板式電極板(470(W)×410(D)mm)可定制
PM180L: 10層平板式電極板(530(L)×400(W)mm)可定制
4 控制系統 觸摸屏+PLC控制
5 真空測定系統 皮拉尼電阻式真空計
6 氣體計量系統 精確質量流量控制計 MFC
7 氣體路數 2—5路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、CF4、O2
8 等離子發生器 500W&1KW等離子體發生源,40KHz(可選13.56MHz)
9 工作氣體 2路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、O2
特 點:高精度,快響應,良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業的技術支持。

用 途:適用于攝像頭及行業,手機制造、半導體IC領域,硅膠、塑膠、聚合體領域,汽車電子行業,航空工業等。
1、攝像頭、指紋識別行業:軟硬結合板的金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清潔;
2、半導體IC領域:COB、COG、COF、ACF工藝,用于打線、焊接前的清洗 ;
3、硅膠、塑膠、聚合體領域:硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。
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