PM80L真空等離子處理機
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編號 內容 規格參數
1 機臺整機規格 PR60L:920mm(W)× 960mm(D)×1720mm(H)
PR80L:920mm(W)×1030mm(D)×1720mm(H)
2 真空室規格 PR60L: 進口鋁 400(W)×400(H)×400(D)mm
PR80L: 進口鋁 450(W)×400(H)×450(D)mm
3 電極板規格 PR60L:6層平板式電極板(380(W)×310(D)mm)
PR80L:8層平板式電極板(420(W)×360(D)mm)
4 控制系統 觸摸屏+PLC控制
5 真空測定系統 皮拉尼電阻式真空計
6 氣體計量系統 精確質量流量控制計 MFC
7 氣體路數 2路進氣,1路放空
8 等離子發生器 500W&1KW等離子體發生源,40KHz(可選13.56MHz)
9 工作氣體 2路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、O2
特 點:高精度,快響應,良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業的技術支持。

用 途:適用于攝像頭及行業,手機制造、半導體IC領域,硅膠、塑膠、聚合體領域,汽車電子行業,航空工業等。
1、攝像頭、指紋識別行業:軟硬結合板的金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清潔;
2、半導體IC領域:COB、COG、COF、ACF工藝,用于打線、焊接前的清洗 ;
3、硅膠、塑膠、聚合體領域:硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。
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